キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現しました。 また、スイッチングの高速化、高電圧接点の真空封入による安全設計を特長として、半導体製造装置のDC/RFスイッチングにも最適な製品です。

■高電圧リレーのラインナップ
High Voltage Vacuum Relays for DC/RF components

		●真空リレー／ガス封入リレー
			高電圧・大電流用途 3.5〜70[kV]、8〜110[A]、DC〜32[MHz]
		●大電流ＤＣコンタクター　ＥＶシリーズ
			用途：電気自動車、充電器、試験装置等 連続電流：500ADC／UL取得・RoHS対応

■用　途
	●高電圧機器全般
		半導体製造装置、各種放電回路、静電塗装装置、レーザー機器
		通信機、医療機器、ECM、ソナー、レーダーなど

■特　長
	超小型設計・・・高真空により実現した非常に短い接点間距離ならびに動作時の最小トラベルにより，コンパクト・軽量化を実現
	安全性・・・高電圧接点が真空キャビティ内に封入されているので、爆発の危険性無しにどのような環境下でも安全な高電圧スイッチングが実現できます。
	高速動作・・・超小型設計により、リレーのスイッチング時間は非常に速くなっています。（10msec typical）

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