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●100kWクラス水冷パワーモデル 可変真空コンデンサ
- 100kW級FPD製造装置用ハイパワーモデル
- 常用周波数範囲：1MHz〜40MHz
- ベローズと駆動機構の長寿命化を実現
- 冷却効率に優れた水冷方式
■用途
- フラットパネル（LCD/FPD）製造装置
- 半導体製造装置（ハイパワー用途）
■外形寸法
■モデル表
| 型 番 |
Cmin
[pF] |
Cmax
[pF] |
電圧
Upt[kV] |
電流
[A](rms) |
冷却方式 |
ステータス |
| CVSU-350AW/55-ADUD |
20 |
350 |
55 |
443 |
水冷 |
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| CVSU-500AW/55-ADUD |
50 |
500 |
55 |
443 |
水冷 |
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| CVSU-2500AW/20-ADUD |
250 |
2500 |
20 |
450 |
水冷 |
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ステータス欄凡例:
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推奨モデル |
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スタンダードモデル |
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