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製品案内真空コンデンサのコメット	70年以上にわたる超真空技術は世界標準世界各国にサービス拠点を置き、抜群の信頼性半導体、有機EL、ソーラー、液晶、分析機器から核融合まで

COMET
MINI-Con
（ミニコンシリーズ）

●ミニサイズ10ターン高速対応可変容量真空コンデンサ

ミディコンを小型化、～5kWミドルパワーモデル

小型・堅牢な形状で低インダクタンスを実現

少ない回転数で、Cmin～Cmaxの容量調整が高速化

取付フランジ標準装備

常用周波数: DC～27MHz

■用途 ：半導体製造装置ほか

■外形寸法

■MINI-Conシリーズカタログ（PDF：244kB）

■モデル表

型　番	Cmin [pF]	Cmax [pF]	電圧 Upt[kV]	電流 [A](rms)	冷却方式	旧番号
CVMN-100AC/15-BEAA-B	20	100	15	54	空冷	CV1C-100PIHN
CVMN-100BC/15-ACA	20	100	15	54	空冷	CV1C-100N
CVMN-100BC/15-BAA	20	100	15	54	空冷	CV1C-100L
CVMN-300AC/15-ACA	20	300	15	80	空冷	CV1C-300G
CVMN-300AC/15-BEAA	20	300	15	80	空冷	CV1C-300R
CVMN-300AC/15-BEAA-C	20	300	15	80	空冷	CV1C-300PEN
CVMN-300AC/15-BEAA-B	20	300	15	80	空冷	CV1C-300PIHN
CVMN-300AC/15-BEAA-CF	20	300	15	80	空冷	CV1C-300PEN/1503
CVMN-400AC/15-ACD	80	400	15	84	空冷	CV1C-400H
CVMN-400AW/15-ACD	80	400	15	84	水冷	CV1W-400H
CVMN-500CC/5-ACA	12	500	5	79	空冷	CV05C-500U
CVMN-500BC/10-BEC	80	500	10	81	空冷	CV1C-500NM
CVMN-500BC/10-ACC	100	500	10	81	空冷	CV1C-500N
CVMN-500AC/15-ACC	300	500	15	81	空冷	CV1C-500M
CVMN-1000AC/5-BEC	50	1000	5	81	空冷	CV05C-1000PM
CVMN-1000AC/5-ACC	50	1000	5	81	空冷	CV05C-1000P
CVMN-1000AC/5-BEAA-C	50	1000	5	81	空冷	CV05C-1000PEN
CVMN-1000AC/5-BAC	50	1000	5	81	空冷	CV05C-1000V
CVMN-2000AC/5-ACA	100	2000	5	83	空冷	CV05C-2000R
CVMN-2000AC/5-ACAA	100	2000	5	83	空冷	CV05C-2000RN
CVMN-2000AW/5-CCD	100	2000	5	97	水冷	CV05W-2000P

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