●20kWクラスLCDパネル/半導体製造装置用 可変容量真空コンデンサ
- ハイパワー、高電圧、大容量用途モデル
- 常用周波数範囲:2MHz〜27MHz
- ハイパワー時の冷却用に水冷タイプをラインナップ
- 標準化されたフランジを装備
■用途
: フラットパネル(LCD/FPD)製造装置(20kW超)
■外形寸法
■MAXI-Conシリーズカタログ(PDF:196kB)
■モデル表
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