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 真空コンデンサのコメット


70年以上にわたる超真空技術は世界標準 
世界各国にサービス拠点を置き、抜群の信頼性 
半導体、有機EL、ソーラー、液晶、分析機器から核融合まで 
COMET
MAXI-Con
(マキシコンシリーズ)



●20kWクラスLCDパネル/半導体製造装置用 可変容量真空コンデンサ
  • ハイパワー、高電圧、大容量用途モデル
  • 常用周波数範囲:2MHz〜27MHz
  • ハイパワー時の冷却用に水冷タイプをラインナップ
  • 標準化されたフランジを装備


■用途  
:  フラットパネル(LCD/FPD)製造装置(20kW超)


■外形寸法

■MAXI-Conシリーズカタログ(PDF:196kB)


■モデル表

型 番 Cmin
[pF]
Cmax
[pF]
電圧
Upt[kV]
電流
[A](rms)
冷却方式 旧番号 ステータス
CVMX-500AC/25-BEAA-J1 50 500 25 170 空冷 CV1C-500I
CVMX-500AC/25-BEAA-J 50 500 25 170 空冷 CV1C-500IG
CVMX-500AC/25-BUAA-J 50 500 25 170 空冷 CV1C-500IL
CVMX-500AW/25-BEAA-J 50 500 25 182 水冷 CV1W-500K
CVMX-500AW/25-BEAA-J1 50 500 25 182 水冷 CV1W-500KD
CVMX-500AW/25-BEAA-AJ 100 500 25 182 水冷 CV1W-500KDV
CVMX-500AW/25-BEUA-J 50 500 25 182 水冷 CV1W-500L
CVMX-1000AC/15-BEAA-1 100 1000 15 175 空冷 CV1C-1000VD
CVMX-1000AC/15-BEAA 100 1000 15 175 空冷 CV1C-1000V
CVMX-1000AC/15-BEKA 100 1000 15 175 空冷 CV1C-1000VT
CVMX-1500AC/8-BEAA 150 1500 8 126 空冷 CV1C-1500V
CVMX-1500BW/8-BEAA-J 150 1500 8 182 水冷 CV05W-1500K
CVMX-1500BW/8-BEAA-J1 150 1500 8 182 水冷 CV05W-1500KD
CVMX-1500BW/8-BEAA-AJ 150 1500 8 182 水冷 CV05W-1500KDV
CVMX-2000AC/8-BEAA 200 2000 8 123 空冷 CV1C-2000V
CVMX-2000AC/8-BEAA-1 200 2000 8 123 空冷 CV1C-2000VD

 

ステータス欄凡例:

推奨モデル  

スタンダードモデル  


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